上海交通大学微纳科学技术研究院曹莹(女)、周志敏校友

 曹莹，女，博士，上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜电子材料与器件研究室副教授，2001年获得哈尔滨工业大学工学博士学位，同年进入上海交通大学微纳科学技术研究院工作，主要从事电化学加工技术和薄膜电子材料微细加工技术研究，主持和为主完成的项目有上海市科委纳米专项“汽车工业用镀锌钢板的纳米改性研究”，总装备部重点实验室基金项目“RF-MEMS材料的微机械加工技术研究”，目前参加的科研项目有863计划项目“基于准－LIGA技术非硅MEMS标准加工工艺及规范”；国家自然科学基金项目“移相器用电磁型集成双稳态RF-MEMS开关” ；国家863纳米专项“基于纳米晶软磁材料的磁心结构的微电感器件制造技术研究”等。近年来共发表学术论文20余篇，申请发明专利2项。目前主要从事薄膜材料与微传感器及纳米器件加工技术研究。
    研究方向：MEMS器件和纳电子器件关键制造技术研究，包括微纳电子器件的微型化和集成化技术。 

    周志敏，男，上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜电子材料与器件研究室博士后，湖北鄂州人，2003年9月获哈尔滨工业大学材料学专业博士学位，同年12月到上海交通大学微纳研究院做博士后研究工作，主要从事多层膜巨磁阻抗和巨应力阻抗研究及微纳米薄膜材料力学性能测试表征。 
    研究方向：多层膜材料的制备和器件结构参数的计算机模拟及微纳米器件材料力学特性测试表征方法研究。